2017年5月17日，北方华创科技集团股份有限公司(以下简称"北方华创")及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称"北方华创微电子"）收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国家科技重大专项"14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化"项目经费资金9,423.00万元、"28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化"项目经费资金4,811.00万元及"14-7nmCuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化"项目经费资金4,746.00万元。